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史志天,男,1989年8月出生,博士,现任东南大学电子科学与工程学院副教授、副研究员、高级工程师,隶属于微电子学与固体电子学系。他主要从事半导体微纳加工与智能工艺建模研究,核心方向包括刻蚀工艺机理、微纳结构制造以及物理信息机器学习在先进制造过程中的应用。其研究工作致力于融合微纳制…
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史志天,男,1989年8月出生,博士,现任东南大学电子科学与工程学院副教授、副研究员、高级工程师,隶属于微电子学与固体电子学系。他主要从事半导体微纳加工与智能工艺建模研究,核心方向包括刻蚀工艺机理、微纳结构制造以及物理信息机器学习在先进制造过程中的应用。其研究工作致力于融合微纳制…