研究方向

个人简介

史志天，男，1989年8月出生，博士，现任东南大学电子科学与工程学院副教授、副研究员、高级工程师，隶属于微电子学与固体电子学系。他主要从事半导体微纳加工与智能工艺建模研究，核心方向包括刻蚀工艺机理、微纳结构制造以及物理信息机器学习在先进制造过程中的应用。其研究工作致力于融合微纳制造过程机理与数据驱动方法，发展面向复杂制造过程的小样本建模与工艺优化技术，旨在提升半导体工艺开发效率与可预测性。史志天博士毕业于瑞士苏黎世联邦理工学院（ETH Zurich），随后在英国剑桥大学和美国布鲁克海文国家实验室（Brookhaven National Laboratory）从事博士后研究，并在瑞士保罗谢勒研究所进行短期博士后工作。在工业界，他曾任三星（中国）半导体有限公司高级工程师。他在微纳结构刻蚀、X射线光学结构制造及相关机理研究方面积累了系统的研究经验，相关成果发表于微纳制造与材料领域期刊，并与多个国际研究团队保持合作。目前的研究重点聚焦于半导体刻蚀过程机理建模、物理信息机器学习方法以及复杂微纳结构制造过程中的数据驱动工艺优化。

资料摘录

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