秦明
东南大学 · 集成电路学院
基本信息
东南大学 · 集成电路学院
秦明
东南大学 · 集成电路学院
研究方向
MEMS器件工艺设计与封装方法MEMS器件的驱动与测量技术MEMS嵌入式微系统、片上集成与封装技术微电子机械系统(MEMS)流量、风速、气压等传感器研究
个人简介
秦明,博士,东南大学电子科学与工程学院教授、博士生导师,任职于MEMS教育部重点实验室。1997年于东南大学电子工程系获微电子与固体电子学硕士、博士学位,1998年4月至2000年10月赴香港科技大学电子与电机工程系担任访问学者,1997年11月起任教于东南大学电子科学与工程学院,2004年3月升任教授、博士生导师。长期从事微电子机械系统(MEMS)领域研究,核心研究方向覆盖MEMS流量、风速、气压等传感器研发,MEMS器件工艺设计与封装方法、驱动与测量技术,以及MEMS嵌入式微系统、片上集成与封装技术等,已在领域内知名期刊及顶级国际会议发表多篇高水平学术论文,研究成果聚焦于MEMS传感器的性能优化与工程应用,具有较高的学术价值与产业化潜力。